近红外显微分光测定仪
近红外显微分光测定仪
的详细介绍
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从380nm~1050nm的可视光至近红外实现大范围波长区域中的分光测定
奥林巴斯的近红外显微分光测定仪USPM-RU-W可以高速&高精细地进行可视光区域至近红外区域的大范围波长的分光测定。 由于其可以很容易地测定通常的分光光度计所不能测定的细微区域、曲面的反射率，因此十分适用于光学元件与微小的电子部件等产品。 |
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实的测定功能
使用一台即可进行反射率、膜厚、物体颜色、透过率、入射角45度反射率的各种分光测定。
测定反射率
测定以物镜聚光φ17～70μm的微小点的反射率。
反射率测定光路图
反射率测定例：镜片 反射率测定例：镜片周边部位
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膜厚测定的图例 |
测定膜厚
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测定物体颜色
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测定透过率
从受台下部透过φ2mm的平行光，测定平面样品的透过率。（选配）
透过率测定光路图
测定入射角为45度的反射率
从侧面向45度面反射φ2mm的平行光，测定其反射率。（选配）
45度反射率测定光路图
域的高精度&高速测定
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光学系图 |
实现高速测定
使用平面光栅及线传感器进行全波长同时分光测定，从而实现高速测定。 |
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*适用于测定细小部件、镜片的反射率
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反射率测定图例
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消除背面反射光的原理 |
定反射率时，不需要背面防反射处理
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可选择的膜厚测定方法
根据测定的分光反射率数据进行单层膜或多层膜的膜厚解析。可以根据用途选择*佳的测定方法。
峰谷法膜厚解析经过信息图例
峰谷法
这是一种根据测定的分光反射率值的峰值与低谷的周期性计算出膜厚的方法，对于测定单层膜是有效的。不需要复杂的设置，可以简单地求出。
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傅里叶转换法膜厚解析经过信息图例 |
傅里叶转换法 这是一种根据测定的分光反射率值的周期性计算膜厚的方法，对于单层膜及多层膜的测定有效。难以检测出峰值及低谷等时，可以几乎不受噪音的影响进行解析。 |
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曲线调整法膜厚解析经过信息图例 |
曲线调整法
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多样化应用
高速、高精度地应对多样化测定需求。
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通过测定球面、非球面的镜片、滤镜、反射镜等光学元件的反射率，进行涂层评价、物体颜色测定、膜厚测定。
数码相机镜片 投影仪镜片光读取头镜片 眼镜片 |
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适用于LED反射镜、半导体基板等微小电子部件的反射率测定、膜厚测定。
半导体基板 |
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适用于平面光学元件、彩色滤镜、光学薄膜等的反射率测定、膜厚测定、透过率测定。
光学薄膜 |
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适用于棱镜、反射镜等45度入射产生的反射率测定。
反射镜 |
USPM-RU-W近红外显微分光测定仪规格：
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反射率测定 | 透过率测定*1 | 45度反射测定*1 | ||
| 名称 | 近红外显微分光测定仪 |
近红外显微分光测定仪用 透过测定选配件 |
近红外显微分光测定仪用 45度反射测定选配件 |
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| 型号 | USPM-RU-W | ||||
| 测定波长 | 380～1050nm | ||||
| 测定方法 | 对参照样品的比较测定 | 对100%基准的透过率测定 | 对参照样品的比较测定 | ||
| 测定范围 | 参照下列对物镜的规格 | 约ø2.0mm | |||
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测定 再现性（3σ）*2 |
反射率测定 | 使用10×、20×物镜时 |
±0.02[%]以下（430-1010nm）、 ±0.2[%]以下（上述以外） |
±1.25[%]以下（430-1010nm）、 ±5.0[%]以下（左侧记载除外） |
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| 使用40×物镜时 |
±0.05[%]以下（430-950nm）、 ±0.5[%]以下（上述以外） |
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| 厚膜测定 | ±1% | - | |||
| 波长显示分解能 | 1nm | ||||
| 照明附件 | 专用卤素灯光源 JC12V 55W（平均寿命700h） | ||||
| 位移受台 |
承载面尺寸：200(W)×200(D)mm 承重：3 kg 工作范围：(XY) ±40mm, (Z)125mm |
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| 倾斜受台 | － |
承载面尺寸： 140(W)×140(D)mm 承重： 1 kg 工作范围：(XT) ±1°, (YT) ±1° |
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| 装置质量 | 主体：约26 kg（PC除外） | 主体：约31 kg（PC除外）*3 | |||
| 控制电源箱：约6.7kg | |||||
| 装置尺寸 | 主体部位：360(W)×446(D)×606(H)mm | 主体部位：360(W)×631(D)×606(H)mm | |||
| 控制电源箱：250(W)×270(D)×125(H)mm | |||||
| 电源规格 | 输入规格：100-240V (110VA) 50/60Hz | ||||
| 使用环境 |
水平无振动的场所 温度：15～30℃ 湿度：15～60％RH（无结露） |
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*1 选件组件 *2 本社测定条件下的测定 *3 装配透过率测定套件与45度反射测定套件的总重量为33kg。
| 对物镜 | |||
| 型号 | USPM-OBL10X | USPM-OBL20X | USPM-OBL40X |
| 倍率 | 10x | 20x | 40x |
| NA | 0.12 | 0.24 | 0.24 |
| 测定范围*4 | 70μm | 34μm | 17μm |
| 工作距离 | 14.3mm | 4.2mm | 2.2mm |
| 样品的曲率半径 | ±5mm～ | ±1mm～ | ±1mm～ |
*4 点径