研究型原子力显微镜
研究型原子力显微镜
的详细介绍|
研究型原子力显微镜
Park XE7配有Park Systems的所有****，而且价格十分亲民。与Park Systems的其他上等型号相比，XE7在细节的设计上也相当用心，是帮助您准时且不超预算地完成研究的理想之选。 |
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高性能原子力显微镜 在同级产品中，Park XE7能够带来高纳米级分辨率的测量效果。得益于独特的原子力显微镜架构，即独立的XY轴和Z轴柔性扫描器，XE7能够实现平滑、正交且线性的扫描测量，从而**成像和测量样品的特征。此外，Park所独有的True Non-Contact™模式还能为您带来****的图像效果，探针可以在多次扫描后图像的分辨率仍不会受影响。 |
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满足当前和未来的需求 在Park XE7的帮助下，现在与未来皆在您的掌控中。Park XE7带有业内多种测量模式。这些模式不仅能满足您目前的需求，也考虑到未来不断变化的需求。再者，XE7具有市场上*开源的设计，允许您整合其他附件和仪器，从而满足您特殊的研究需求。 |
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易于使用 Park XE7拥有简洁的图形用户界面和自动化工具，即便是初学者也可以快速地完成对样品的扫描。无论是预准直探针、简单的样品和探针更换、轻松的激光准直、自上而下的同轴视角以及用户友好型扫描控制和软件处理，XE7能够全力推动研究生产力的提高。 |
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创新研究的经济之选 Park XE7不仅仅是*经济实惠的研究级原子力显微镜，也是总体成本*低的原子力显微镜。Park XE7中所搭载的True Non-Contact™模式让用户无需频繁更换昂贵的探针**，并且它配有业内*多的扫描模式，兼容性优良，让您可随时升级系统功能，从而延长产品的使用寿命。 |
Park XE7通过消除扫描器串扰进行准确的XY扫描
Park Systems的先进串扰消除(XE)扫描系统能够有效解决上述问题。我们使用了二维柔性平台专门扫描样品的XY轴位置，并通过压电叠堆传动装置专门扫描探针悬臂的Z轴位置。用于XY轴扫描的柔性平台采用了固体铝材，其具有超高的正交性和出色的平面外运动轨迹。柔性平台可在XY轴扫描大型样品（1 kg左右），频率*高达100 Hz左右。由于XY轴的带宽要求远低于Z轴的带宽要求，因此该扫描速度已然足够。用于Z轴扫描的压电叠堆传动装置具有大的推拉力和高共振频率（约10 kHz)。
XE scan system
XY flexure scanner
XE-Peformence
图9. (a)表示Park Systems XE系统的背景曲率为零，而(b)是传统的原子力显微镜系统的管式扫描器的典型背景曲率，(c)展示了这些背景曲率的横截面。
图9展示了XE系统(a)和传统原子力显微镜(b)扫描硅片时，未处理的成像图。由于硅片属于原子级光滑材料，因此图像中的弯曲大多数是扫描器所引起的。图9(c)展示了图9中(a)(b)图像的横截面。由于管式扫描器本身带有背景曲率，因此当X轴的位置移动15 μm时，平面外移动*大可达80 nm。而在相同的扫描范围内，XE扫描系统的平面外移动则不超过1 nm。XE扫描系统的另一大优势是Z轴伺服回应。图10是XE扫描系统在无接触模式下拍下的一个多孔聚合物球体（二乙烯苯）的图像，其直径大约为5 µm。由于XE扫描系统的Z轴伺服回应极其精准，探针可以**地沿着聚合物球体上的大曲率以及小孔平面结构移动，而不会压碎或粘连在其表面上。图11是Z轴伺服回应在平坦背景上高性能的表现。
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Best Life, by True Non-Contact™ Mode
在True Non-Contact™模式中，探针**与样品的距离在相互原子力的控制下，被成功地控制在几纳米之间。探针**振动幅度下，大大减少了探针与样品的接触，从而完好地保护了探针和样品。 |
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True Non-Contact™ Mode
· 无损式探针-样品接触=样品变化程度*小 · 避免参数依赖 |
Tapping Imaging
· 破坏性探针-样品接触=样品受损变化 · 高参数依赖性 |
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Longer Tip Life and Less Sample Damage 原子力显微镜探针的**十分脆弱，这使得它在接触样品后会快速变钝，从而限制原子力显微镜的分辨率和图像的质量。对于材质较软的样品，探针会破坏样品，导致其高度测量不准确。相应地，探针保持完整性意味着显微镜可以持续提供高分辨率的**数据。XE系列原子力显微镜的真正非接触模式能够极大程度保护探针，从而延长其寿命，并减少对于样品的破坏。下图中以1:1的长宽比展示了XE系列原子力显微镜扫描浅沟道隔离样品的未处理图像，该样品的深度由扫描电子显微镜(SEM)确定。在成像20次之后，探针几乎有没任何磨损。
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Park XE7规格
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扫描器 |
Z扫描器 柔性引导高推动力扫描器 Z扫描范围：12μm（25 μm可选） |
XY扫描器 闭环控制式单模块柔性XY扫描器 扫描范围：50 μm×50 μm（可选10μmx 10μm 或 100μmx 100μm） |
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位移台 |
XY位移台行程范围： 13 mm x 13 mm Z位移台行程范围：29.5 mm |
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光学系统 |
可观察样品表面和探针的直视同轴光学系统 |
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样品架 |
样品大小：*大100 mm 样品厚度：*厚20 mm |
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电路系统 |
信号处理 ADC: 20通道 X,Y和Z扫描器位置传感器的16位ADC DAC: 21通道 用于X,Y和Z扫描器定位的16位ADC |
集成功能 数字Q控制（可选） 弹簧常数校准（可选） 信号接收模块（可选） |
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选项/模式 |
形貌成像 · 非接触模式 · 接触模式 · 轻敲模式 磁学特性 · 磁力显微镜（MFM）· 可调磁场磁力显微镜 介电/压电特性 · 压电响应力显微镜（PFM）· 高压PFM · 压电响应谱 电学特性· 导电原子力显微镜（C-AFM） · 电流-电压分光谱 · 开尔文探针力显微镜（KPFM） · 高压KPFM · 扫描电容显微镜（SCM） · 扫描扩展电阻显微镜（SSRM） · 扫描隧道显微镜（ STM） · 光电流测绘（ PCM） · 电流-距离（I/d）谱（使用SICM） · 静电力显微镜（EFM） 机械性能 · PinPoint纳米力学· 力调制显微镜（FMM） · 纳米压痕 · 纳米刻蚀 · 高压纳米刻蚀 · 纳米操纵 · 侧向力显微镜（LFM） · 力距离（F / d）光谱 · 力体积成像 |
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软件 |
Park SmartScan™ AFM系统控制和数据采集的专用软件自动模式的快速设置和简易成像手动模式的上等使用和更精密的扫描控制 |
XEI AFM数据分析软件独立设计-可独立安装和分析数据能够生成采集数据的3D绘制 |
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| 配件 |
· 带温度控制的常用液池 · 温控台 · 电化学池
· 手套箱 |
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