原子力显微镜
原子力显微镜
的详细介绍|
针对失效分析和大样本研究的原子力显微镜
作为一款缺陷形貌分析的精密测量仪器，其主要目的是对样品进行缺陷检测。而仪器所提供的数据不能允许任何错误的存在。Park NX20这款全球精密的大型样品原子力显微镜，凭借着出色的数据准确性，在半导体和超平样品行业中大受赞扬。 |
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大**的分析功能 Park NX20具备有一无二的功能，可快速帮助客户找到产品失效的原因，并帮助客户制定出更多具有创意的解决方案。 ****的精密度为您带来高分辨率数据，让您能够更加专注于工作。与此同时，真正非接触扫描模式让探针**更锋利、更耐用，无需为频繁更换探针而耗费大量的时间和**。 |
易于操作 ParkNX20拥有业界便捷的设计和自动界面，让你在使用时无需花费大量的时间和精力，也不用为此而时时不停的指导初学者。借助这一系列特点，您可以更加专注于解决更为重大的问题，并为客户提供及时且富有洞察力的失效分析报告。 |
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样品侧壁三维结构测量
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对样品和基片进行表面光洁度测量
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高分辨率电子扫描模式
扫描式电容显微镜
无摩擦导电原子力显微镜 |
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多种独有的砖利技术帮助顾客减少测试时间
CrN样品所做的针尖磨损实验
AFM测量
借助真正非接触模式，探针**在扫描氮化铬样品（即探针检测样品）200次后仍可保持锋利的状态。
氮化铬的表面粗糙且研磨性强，会让普通的探针很快变钝。
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低噪声Z探测器测量准确的样品表面形貌
没有压电蠕变误差的真正样品表面形貌超低噪声Z探测器，噪音水平低于0.02 nm,从而达到非常精准样品形貌成像，没有边沿过冲无需校准。Park NX20在为您提供好的数据的同时也为您节省了宝贵的时间。 |
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· 使用低噪声Z探测器信号进行台阶形貌测量 · 在大范围扫描过程中系统Z向噪音小于0.02 nm |
· 没有前沿或后沿过冲现象 · 无需校准，减少设备维护成本 |
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Park NX系列原子力显微镜
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传统的原子力显微镜
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Park NX20 规格
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XY扫描器 |
闭环控制XY平板扫描器 扫描范围 : 100μm x 100μm 50μm x 50μm 20位位置控制和24位位置传感器 |
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| 运动位移平台 |
XY行程范围 : 150 mm (200 mm选配) |
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Z扫描器 |
导向强力Z扫描器 扫描范围 : 15 µm 30 µm 20位位置控制和24位位置传感器 |
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样品基座 |
样品尺寸：150 mm (200 mm选配) 真空样品吸附 |
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| 视场 |
光学物镜 |
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