XYZ模块化高温探针台
- 产品名称：XYZ模块化高温探针台
- 产品型号：HP1000V-MPS
- 产品厂商：INSTEC
- 产品文档：
XYZ模块化高温探针台
的详细介绍
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HCP1000V-MPS XYZ模块化高温探针台
HP1000V-MPS Instec的真空高温探针台系列是可从外部移动探针进行点针的桌上型探针台，涵盖多型号、 多温度范围。
同时允许温控、探针电测试、光学观察和样品气体环境控制。探针台上盖与底壳构成一个可抽真空的密封腔， 亦可内充入氮气等保护气体，来防止样品在负温下结霜，或高温下氧化。
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功能特点：
·mimi型温控探针台，可集成到各种光学设备
·可编程控温，涵盖RT~1000℃
·适用 10 mm ~25 mm 晶圆和器件
·可抽真空的腔体，亦可充入保护气体使用
·独立的四个探针，可从设备外部移动探针进行点针
·可从温控器或电脑软件控制，可提供软件SDK
·模块化设计，可自由组合
·可升级为8个独立探针
·SMA接头转BNC四探针，手动点针 *可选三同轴接口，用于pA级测试
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温控参数 |
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温度范围 |
30℃ ~ 400℃ |
| 加热块材质 | 陶瓷 |
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传感器/温控方式 |
S / PID控制（含LVDC降噪电源） |
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*大升温速率 |
50℃/min |
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*小温控速度 |
±0.01℃/min |
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温度分辨率 |
0.01℃ |
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温度稳定性 |
±0.05℃ |
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软件功能 |
可设温控速率，可设温控程序，可记录温控曲线 |
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电学参数 |
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探针 |
默认为铼钨材质的弯针探针 |
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探针座 |
可从外部XYZ移动的探针臂 |
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点针 |
从外部移动点针，每个探针座都可点到样品区上任意位置 |
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探针接口 |
默认为SMA接头转BNC *可增设腔内接线柱（样品接电引线） |
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样品台面电位 |
默认为电接地，可选电悬空（作背电极），可选三同轴接口 |
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光学参数 |
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适用光路 |
反射光路 |
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窗片 |
可拆卸与更替的窗片 |
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*小物镜工作距离 |
8/12（可选）mm *截面图中WD |
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上盖窗片观察 |
窗片范围φ45mm，*大视角±58° *截面图中θ1 |
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负温下窗片除霜 |
吹气除霜管路 |
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结构参数 |
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适用样品 |
25min*25 mm |
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样品腔高 |
4/8 mm （可选） |
| 探针座 |
可从外部XYZ移动的探针臂
粗调模式+微调模式，XY粗调20mm XY微调行程10mm,Z微调 3mm |
| 调节精度 |
10um |
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气氛控制 |
真空腔，也可充入保护气体 |
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外壳冷却 |
可通循环水，以维持外壳温度在常温附近 |
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台体尺寸/重量 |
300 mm x 300 mm x 40 mm / 4kg |
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配置列表 |
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基本配置 |
真空型台式探针台、mK2000B温控器 |
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可选配件 |
安装支架、液氮制冷系统、外壳循环水冷系统、显微镜头、防震桌、真空系统、测试源表、三同轴BNC、台面电悬空、样品接电引线 |